Để lọc bụi và các hạt nhỏ khác khỏi luồng chân không. Giảm nguy cơ hỏng hóc hoặc dừng hoạt động của máy bơm. Có một số bộ lọc được ATEX chấp thuận và một số bộ lọc bằng thép không gỉ để khử trùng khi vệ sinh. (Sử dụng có điều kiện ATEX xem thông số kỹ thuật bộ lọc)